Cat-CVD研究会

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研究会案内

実行委員長より

　2024年　2月　9日

　今回で第21回目の開催となりますCat-CVD研究会は、2024年6月14日（金）に大阪公立大学（旧大阪市大）で開催致します。大阪公立大学は2022年4月に大阪市大と大阪府大が統合した大学であり、各大学が約140年の歴史と文化を有します。学生数約1万6千人と国公立大学の入学定員数では3番目になるマンモス大学です。 Cat-CVDは、従来のシリコン系にとどまらず、有機系や、ダイヤモンドに代表されるカーボン系まで、多岐に渡る材料の形成に用いられています。反応ガスに水素を用いた場合は、従来の酸化雰囲気ではなく還元下で行えることが特徴です。また、薄膜堆積のみならず、接触分解により生成したラジカルを用いた表面の改質、ドーピング、有機薄膜の分解なども行うことができるため、現在注目されている半導体分野だけでなく幅広い分野への応用が期待されています。 ポストコロナの時代に入り、今回はハイブリッド形式で実施します。可能でしたら皆様に対面でお集まり頂き、活発なご議論をして頂きたいと思っています。多くの皆様のご参加をお待ちいたしております。 　　

第21回Cat-CVD研究会　実行委員長　　堀邊　英夫

テーマ・内容

以下のCat-CVD技術について、基礎から応用まで幅広く議論します。

　(1)　ガスの分解過程、気相反応、触媒体材料
　(2)　Cat-CVD、Hot-Wire装置開発
　(3)　堆積膜の基礎物性および評価
　(4)　ラジカル処理
　(5)　デバイス応用
　(6)　新分野・新展開　　など

日時場所

開催日時

2024年　６月　14日（金）

開催場所

　大阪公立大学　杉本キャンパス

アクセス

　　アクセス詳細

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