Cat-CVD研究会

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研究会案内

実行委員長より

　2020年　3月　31日

　本年で第17回を数えますCat-CVD研究会は、2020年7月3日（金）、4日（土）の日程で、北陸先端科学技術大学院大学からほど近い、石川ハイテク交流センターでの開催を予定しております。Cat-CVDは、従来のシリコン系にとどまらず、有機系や、ダイヤモンドに代表されるカーボン系まで、多岐にわたる材料の形成に用いられており、それぞれの材料が、多くの応用分野において活用されております。また、Cat-CVDは、薄膜堆積のみならず、触媒分解により生成したラジカルを用いた試料表面の改質や、ドーピングへの利用も可能であり、幅広い分野への応用が期待されております。 なお本年は、以下のような、昨年までとは異なるいくつかの企画を、試験的に実施したいと考えております。

(1) 予稿集の電子化（紙版冊子の発行を行わない）
(2) 質疑応答時間を長めに設定したディスカッション中心の口頭セッション
(3) 北陸先端科学技術大学院大学で保有するCat-CVD装置の見学ツアー（初日午前、希望者のみ）

　多くの皆様のご投稿、ご参加を、お待ちいたしております。

第17回Cat-CVD研究会　実行委員長　　大平　圭介

テーマ・内容

以下のCat-CVD技術について、基礎から応用まで幅広く議論します。

　(1)　ガスの分解過程、気相反応、触媒体材料
　(2)　Cat-CVD、Hot-Wire装置開発
　(3)　堆積膜の基礎物性および評価
　(4)　ラジカル処理
　(5)　デバイス応用
　(6)　新分野・新展開　　など

日時場所

開催日時

2020年　7月　3日（金）～　4日（土）

開催場所

石川ハイテク交流センター

アクセス

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