Cat-CVD研究会

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研究会案内

実行委員長より

　2022年　5月　11日

　本年で第19回を数えますCat-CVD研究会は、2022年7月14日（木）、15日（金）の日程で開催致します。Cat-CVDは、従来のシリコン系にとどまらず、有機系や、ダイヤモンドに代表されるカーボン系まで、多岐にわたる材料の形成に用いられており、それぞれの材料が、多くの応用分野において活用されております。また、Cat-CVDは、薄膜堆積のみならず、触媒分解により生成したラジカルを用いた試料表面の改質や、ドーピングへの利用も可能であり、幅広い分野への応用が期待されております。
　新型コロナの影響により活動の制限が求められる中、久しぶりに皆様で集まって議論する場を設けるました。今回は産業総合研究所九州センターを開催地といたします。一方で、お住まいの都道府県やご所属の機関の要請により、現地への出張が難しい方々もおられると思います。そのような皆様にも発表や議論の機会を提供できるよう、オンラインでのご参加も可能とする、ハイブリッド開催を計画しております。
　多くの皆様のご投稿、ご参加を、お待ちいたしております。 　　

第19回Cat-CVD研究会　実行委員長　　大曲　新矢

テーマ・内容

以下のCat-CVD技術について、基礎から応用まで幅広く議論します。

　(1)　ガスの分解過程、気相反応、触媒体材料
　(2)　Cat-CVD、Hot-Wire装置開発
　(3)　堆積膜の基礎物性および評価
　(4)　ラジカル処理
　(5)　デバイス応用
　(6)　新分野・新展開　　など

日時場所

開催日時

2022年　７月　14日（木）～15(金)

開催場所

1日目：産業技術総合研究所九州センター(佐賀県鳥栖市宿町807-1）

2日目：九州シンクロトロン光研究センター(佐賀県鳥栖市弥生が丘8-7）

ハイブリッド開催

産業技術総合研究所九州センター第２棟大会議室（佐賀県鳥栖市）

アクセス

　　アクセス詳細

宿泊情報