Cat-CVD研究会

10:00～11:50　研究会　受付

11:50～12:00　開会挨拶
（実行委員長：大阪公立大学　堀邊 英夫）

12:00～13:30　招待講演
（座長：香川高専　山本 雅史）

S-01　：　12:00～12:30
　Cat-CVD技術の新しい挑戦、未来の可能性
　松村 英樹
　北陸先端科学技術大学院大学

S-02　：　12:30～13:00
　マイクロバブル：縮小する気液界面の可能性
　高橋 正好
　東北大学

S-03　：　13:00～13:30
　水蒸気マイクロ波励起プラズマによる有機薄膜分解技術の開発
　石島 達夫
　金沢大学

13:30～13:45　休憩

13:45～15:00　一般講演
（座長：岐阜大学　伊藤 貴司，日本大学　清水 耕作）

O1-01　：　13:45～14:00
　Cat-CVD (HMD)プロセスへの膜厚計測用水晶振動子の応用
　部家 彰*，井上 尚三，住友 弘二
　兵庫県立大学

O1-02　：　14:00～14:15
　ペンタセンとジヒドロペンタセンを用いたナノグラフェンの合成
　中山 美咲*，住友 弘二，部家 彰
　兵庫県立大学

O1-03　：　14:15～14:30
　軟X線照射と原子状水素・原子状窒素による酸化グラフェンの
　低温還元・窒素ドープと電界効果トランジスタ作製
　上霜 未空*，稲本 純一，松尾 吉晃，神田 一浩，住友 弘二，部家 彰
　兵庫県立大学

O1-04　：　14:30～14:45
　原子状水素アニールによるポリグリセリンアクリルの表面改質
　藤野 雄飛*，住友 弘二，部家 彰
　兵庫県立大学

O1-05　：　14:45～15:00
　酸素ファインバブル水による有機物分解
　山本 竜也*，水谷 匡希，堀邊 英夫
　大阪公立大学

15:00～15:15　休憩

15:15～16:30　一般講演
（座長：兵庫県立大学　部家 彰，九州工業大学　和泉 亮）

O2-01　：　15:15～15:30
　P型硫化モリブデンTFTの水素処理によるn型化
　李 柯澄*，許 誠浩，土田 正道，清水 耕作
　日本大学

O2-02　：　15:30～15:45
　Mist-CVD法を用いた酸化物半導体の合成
　福田 翔一*，堀口 史生，江波戸 慶吾，清水 耕作
　日本大学

O2-03　：　15:45～16:00
　Machine Learning Methods of Random Forest in Deposition Conditions of n-a-Si
　Chenxi Li*, Huynh Thi Cam Tu, Keisuke Ohdaira
　北陸先端科学技術大学院大学

O2-04　：　16:00～16:15
　アルミニウム誘起結晶化法で形成した種結晶層上での Cat-CVD非晶質
　シリコン膜のFLAによる結晶化
　Li Baitong*，Huynh Thi Cam Tu，大平 圭介
　北陸先端科学技術大学院大学

O2-05　：　16:15～16:30
　組成と膜厚を変化させた極薄窒化Si膜の電気伝導性評価
　伊藤　雄飛*，Huynh Thi Cam Tu, 大平 圭介
　北陸先端科学技術大学院大学

16:30～16:45　休憩

16:45～17:45　一般講演
（座長：北陸先端科学技術大学院大学　大平 圭介）

O3-01　：　16:45～17:00
　中真空状態で生成した水分解種による酸化膜形成と膜質評価
　加茂 智歩理*，川田 正幸，片宗 優貴，和泉 亮
　九州工業大学

O3-02　：　17:00～17:15
　熱フィラメントCVD法における低メタン濃度でのリン添加多結晶
　ダイヤモンド膜の成長に及ぼす基板ステージ温度の影響
　堀田 有花*，片宗 優貴，和泉 亮
　九州工業大学

O3-03　：　17:15～17:30
　カソードルミネッセンス法とラマン分光法を用いたリン添加多結晶
　ダイヤモンド膜の特性評価
　井下 智史*，片宗 優貴，和泉 亮，寺地 徳之，渡邊 賢司，小泉 聡
　九州工業大学

O3-04　：　17:30～17:45
　下地層の結晶配向性がリン添加多結晶ダイヤモンド膜の成長に及ぼす影響
　中村 龍平*，中野 晃良，片宗 優貴，和泉 亮
　九州工業大学

17:45～17:55　閉会挨拶
（実行委員長：大阪公立大学　堀邊 英夫）

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